Journals →  Материалы электронной техники →  2012 →  #2 →  Back

МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ И МАТЕРИАЛОВ
ArticleName Моделирование влияния внутренних механических напряжений на скорость роста кислородных преципитатов в кремнии
ArticleAuthor Р. В. Гольдштейн, Т. М. Махвиладзе, М. Е. Сарычев
ArticleAuthorData

Институт проблем механики им. А. Ю. Ишлинского РАН

Р. В. Гольдштейн

 

Физико–технологический институт РАН

Т. М. Махвиладзе, М. Е. Сарычев

Abstract

Предложен подход для моделирования влияния механических напряжений, возникающих в системе «кремниевая матрица — кислородный преципитат (SiO2)», на скорость основных процессов, определяющих кинетику преципитации. Найдены и проанализированы полученные с учетом этого фактора зависимости от времени размеров сферического преципитата и количества атомов кислорода в нем.

keywords Преципитат, механическое напряжение, диффузия, скорость реакции
References

1. Гольдштейн, Р. В. Моделирование влияния механических напряжений на кинетику роста кислородных преципитатов в кремнии / Р. В. Гольдштейн, Т. М. Махвиладзе, М. Е. Сарычев // Вестн. ПГТУ. Механика. − 2010. − № 1. «Математическое моделирование физико−механических процессов». − С. 35—49.
2. Borghesi, A. Oxygen precipitation in silicon / A. Borghesi, B. Pivac, A. Sassella, A. Stella // J. Appl. Phys. − 1995. − V. 77, N 9. − P. 4169—4244.
3. Воронков, В. В. Роль кислорода в образовании микродефектов при выращивании бездислокационных монокристаллов кремния / В. В. Воронков, М. Г. Мильвидский // Кристаллография. − 1988. − Т. 33, № 2. − С. 471—477.
4. Булярский, С. В. Моделирование неоднородной по объему преципитации кислорода в кремнии / С. В. Булярский, В. В. Светухин, О. В. Приходько // Физика и техника полупроводников. − 1999. − Т. 33, № 11. − С. 1281—1286.
5. Крисюк, Б. Э. Расчет чувствительности к деформации реакций кислотного гидролиза полиамида и полиэфира / Б. Э. Крисюк, Е. В. Полианчик // Химическая кинетика. − 1993. − Т. 12, № 2. − С. 253—259.
6. Буров, Ю. М. Кинетика мономолекулярных реакций в плотных средах / Ю. М. Буров // Журнал физ. химии. − 2004. − Т. 78, № 4. − С. 682—686.
7. Гольдштейн, Р. В. Экспериментально−теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат — дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников, М. В. Меженный, М. Г. Мильвидский, В. Я. Резник (Препринт ИПМ РАН. 2007; № 808. 29 с.).
8. Бабичев, А. П. Физические величины: Справочник / А. П. Бабичев, И. А. Бабушкина, А. М. Братковский − М. : Энергоиздат, 1991. − 880 с.

Language of full-text russian
Full content Buy
Back