Для повышения воспроизводимости процесса магнетронного осаждения слоев диоксида титана применена оптическая эмиссионная спектроскопия. Наличие волоконно-оптического кабеля спектрометра Avantes позволяет регистрировать спектр в непосредственной близости от области плазменного разряда, а 2048-элементный детектор на основе кремниевой ПЗС-линейки обеспечивает одновременную и практически мгновенную регистрацию с достаточным разрешением всего спектра в диапазоне длин волн 350—810 нм. Линии излучения плазмы Ti и Ar идентифицированы и использованы для контроля технологического процесса. Исследованы зависимости интенсивности линий излучения от значения анодного тока. Получены образцы слоев титана при больших токах, а затем при уменьшении тока осажден TiO с металлической проводимостью, TiO₂ c проводимостью от 10^-2 Ом · см до очень низких значений. Установлено, что в результате управления процессом по интенсивности линии излучения титана разброс значений удельного сопротивления слоев диоксида титана, изготовленных при одинаковых режимах, существенно уменьшился.

1. Zaleska, A. Doped-TiO₂: A review / A. Zaleska // Recent Pat. on Eng. - 2008. - V. 2, N 3. - P. 157—164.
2. Li, B. Review of recent progress in solid-state dye-sensitized solar cells / B. Li, L. Wang, B. Kang, P. Wang, Y. Qiu // Solar Energy Mater. Solar Cells. - 2006. - V. 90, N 5. - P. 549—573.
3. Janisch, R. Transition metal-doped TiO₂ and ZnO — present status of the field / R. Janisch, P. Gopal, N. Spaldin // J. Phys: Condensed Matter. - 2005. - V. 17. — P. R657—R672.
4. UV Photodiodes with large active areas // http://www.sglux.de/products_of_sglux_SiC_photodio.22.0.html?&L=1&tx_ttproducts_pi1[cat]=20 TiO2.
5. Sproul, W. D. Control of reactive sputtering processes / W. D. Sproul, D. J. Christie, D. C. Carter // Thin Solid Films. - 2005. - V. 491, N 1–2. - P. 1—17.
6. Tang, J. P—T boundary of PbO₂-type and baddeleyite type high-pressure phases of titanium dioxide / J. Tang, J. Endo // J. Amer. Ceramic Soc. - 1993. - V. 76, N 3. - P. 796—798.
7. Ardakani, H. K. Electrical and optical properties of in situ «hydrogen-reduced» titanium dioxide thin films deposited by pulsed excimer laser ablation / H. K. Ardakani // Thin Solid Films. - 1994. - V. 248, N 2. - P. 234—239.
8. Forro, L. High mobility n-type charge carriers in large single crystals of anatase (TiO₂) / L. Forro, O. Chauvet, D. Emin, L. Zuppiroli, H. Berger, F. Lévy // J. Appl. Phys. - 1994. - V. 75, N 1. - P. 633—635.
9. Hasiguti, R. R. Electrical conductivity below 3 K of slightly reduced oxygen-deficient rutile TiO_2-x / R. R. Hasiguti, E. Yagi // Phys. Rev. B. - 1994. - V. 49, N 11. - P. 7251—7256.
10. Зайдель, А. Н. Таблицы спектральных линий / А. Н. Зайдель, В. К. Прокофьев, С. М. Райский - М. : Наука, 1969. - C. 800.
11. Rossnagel, S. M. Optical emission in magnetrons: Nonlinear aspects / S. M. Rossnagel, K. L. Saeger // J. Vac. Sci. and Techn. A. - 1989. - V. 7, N 3. - P. 968—971.
12. Hoffman, D. W. A sputtering wind / D. W. Hoffman // Ibid. - 1985. - V. 3, N 3. - P. 561—566.
13. Rossnagel, S. M. Gas density reduction effects in magnetrons / S. M. Rossnagel // Ibid. - 1988. - V. 6, N 1. - P. 19—24.