• Acquire
Hide↑
Journals →  Горный журнал →  2010 →  #12 →  Back

ПЕРЕРАБОТКА И КОМПЛЕКСНОЕ ИСПОЛЬЗОВАНИЕ МИНЕРАЛЬНОГО СЫРЬЯ
ArticleName Разработка плазмохимических технологий получения особо чистого кварца и кремния
ArticleAuthor Борисов Л. А., Козлов Н. П., Кулагин А. Ю., Серых Н. М., Скрябин А. С.
ArticleAuthorData Л. А. Борисов, зам. генерального директора — главный инженер, тел.: (495) 487-65-93, ФГУП «Центркварц»; Н. П. Козлов, зав. отделом, д-р техн. наук, тел.: (499) 263-69-19, НИИ ЭМ МГТУ им. Н. Э. Баумана; А. Ю. Кулагин, аспирант, e-mail: aykulagin@me.com, МГТУ им. Н. Э. Баумана; Н. М. Серых, генеральный директор, канд. техн. наук, тел.: (495) 489-10-96, ФГУП «Центркварц»; А. С. Скрябин, аспирант, тел.: (905) 586-77-65, МГТУ им. Н. Э. Баумана
Abstract
Проведено экспериментально-теоретическое обоснование новых плазмохимических технологий получения особо чистого кварца и поликристаллического кремния. В оптимальном режиме общий коэффициент снижения содержания примесей равен значению ~2–4, а индивидуальные коэффициенты по Na, Fe, Ca и K достигают величин 5–10 и более с получением особо чистого кварца. Разработана лабораторная установка для исследования эффективности плазмохимического метода получения поликристаллического кремния. Проведены предварительные эксперименты по плазмохимическому восстановлению кремния из кварца. Чистота полученного кремния составила 99,2–99,8 %.
keywords Плазмохимия, плазмохимический метод, технология, обогащение, генераторы плазмы, особочистый кварц, поликристаллический кремний.
References
1. Непомнящих А. И., Еремин В. П., Красин Б. А. и др. Исследования модификаций состава примесей частиц природного кварца в дисперсном плазменном потоке // Материалы электронной техники. — 2002. — № 4.
2. Салли И. В., Фалькевич Э. С. Производство полупроводникового кремния. — М. : Металлургия, 1969.
3. Гришин Ю. М., Гулин Е. Н., Козлов Н. П. и др. // Теплофизика высоких температур — 2007. — № 5.
4. www.icdd.com
Language of full-text russian
Full content Buy
Back