Journals →  Материалы электронной техники →  2010 →  #3 →  Back

Эпитаксиальные слои и многослойные композиции
ArticleName Эпитаксиальные слои Pb1−xSnxTe для приемников терагерцового излучения
ArticleAuthor Белогорохов А. И., Коновалов А. А., Пархоменко Ю. Н.
ArticleAuthorData Белогорохов А. И., Коновалов А. А., Пархоменко Ю. Н., ОАО «Гиредмет».
Abstract
Методом жидкофазной эпитаксии получены эпитаксиальные слои Pb0,8Sn0,2Te, как нелегированные, так и легированные примесью индия. Исследованы распределения концентрации свободных носителей заряда и концентрации индия по глубине эпитаксиального слоя. Установлено, что на глубине до 15 мкм удается получить однородную по концентрации область, а меняя концентрацию индия, — изменить тип проводимости эпитаксиального слоя при температуре 77,3 К. Показано, что метод жидкофазной эпитаксии является более технологичным для воспроизводимого получения эпитаксиальных слоев с заданной концентрацией свободных носителей, в том числе для фотоприемников терагерцового диапазона.
keywords Полупроводник, теллурид свинца−олова, жидкофазная эпитаксия, концентрация свободных носителей заряда, профиль распределения индия по глубине.
References
1. Хохлов, Д. Р. Высокочувствительные приемники терагерцового излучения на основе нового класса полупроводниковых материалов / Д. Р. Хохлов // УФН. − 2006. − Т. 176, № 9. − С. 983—987.
2. Галеева, А. Н. Фотопроводимость узкощелевых полупроводников Pb1−xSnxTe(In) в терагерцовой спектральной области / А. Н. Галеева, Л. И. Рябова, А. В. Никорич, С. Д. Ганичев, С. Н. Данилов, В. В. Бельков, Д. Р. Хохлов // Письма в ЖЭТФ. − 2010. − Т. 91, Вып. 1. − С. 37—39.
Language of full-text russian
Full content Buy
Back