ОАО «ФОМОС Материалс»:

О. А. Бузанов

С. А. Сахаров

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН:

Д. В. Рощупкин

Е. В. Емелин

Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики:

С. Д. Лавров

Представлены результаты возможного применения сегнетоэлектрических кристаллов LiTaO₃ в акусто− и оптоэлектронике. Высокие значения пьезоэлектрических констант позволяют создавать резонаторы на объемных акустических волнах. Возможность прямой электронно−лучевой переполяризации кристалла LiTaO₃ позволяет формировать доменные структуры с шириной доменов от десятков нанометров до десятков микрометров. Периодические сегнетоэлектрические доменные структуры в кристалле LiTaO₃ использованы в качестве оптической дифракционной решетки и для генерации второй гармоники оптического излучения.

Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации (ГК № 16.513.12.3002).

1. Campbell, C. Surface acoustic wave devices and their signal processing applications / C. Campbell. − L. : Acad. Press, 1989. − 470 p.
2. Dieulesaint, E. Ondes elastique dans les solids / E. Dieulesaint, D. Royer. − Paris: Masson, 1974. − 339 p.
3. Oliner, A. Poverhnostnye akusticheskie volny / A. Oliner. − M. : Mir, 1981. − 390 p.
4. Rechickii, V. I. Akusticheskie radiokomponenty / V. I. Rechickii. − M. : Radio i svyaz’, 1987. − 193 p.
5. Kaino, G. Akusticheskie volny / G. Kaino. − M. : Mir, 1990. − 652 p.
6. Yariv, A. Opticheskie volny v kristallah. / A. Yariv, P. Yuh. − M. : Mir, 1987. − 616 s.
7. Antipov, V. V. Formation of regular structures in the ferroelectric LiNbO₃ and LiTaO₃ near the phase transition / V. V. Antipov, A. A. Blistanov, N. G. Sorokin // Sov. Phys. Crystallogr. − 1985. − V. 30. − P. 428—430.
8. Gupta, M. C. Second−harmonic generation in bulk and waveguide LiTaO₃ with domain inversion induced by electron beam scanning / M. C. Gupta, W. Kozlovsky, A. C. G. Nutt // Ibid. − 1994. − V. 64, N 24. − P. 3210—3212.
9. Yamada, N. First−order quasi−phase matched LiNbO₃ wavequide periodically poled by applying an external field for efficient blue second−harmonic generation / N. Yamada, N. Nada, M. Saitoh, K. Watanabe // Ibid. − 1993. − V. 62, N 1. − P. 435—436.
10. Roshchupkin, D. V. Scanning electron microscopy observation of excitation of the surface acoustic waves by the regular domain structures in the LiNbO₃ crystals / D. V. Roshchupkin, Th. Fournier, M. Brunel, O. A. Plotitsyna, N. G. Sorokin // Ibid. − 1992. − V. 60, N 19. − P. 2330—2331.
11. Roshchupkin, D. V. Scanning electron microscopy observation of the interaction between the surface acoustic waves and regular domain structures in the LiNbO₃ crystals / D. V. Roshchupkin, Th. Fournier, M. Brunel., O. A. Plotitsyna, N. G. Sorokin // Scanning Microscopy. − 1992. − V. 6, N 4. − P. 993—996.
12. Dremova, N. N. Zaryadovyi mehanizm formirovaniya metastabil’nogo potencial’nogo kontrasta poverhnostnoi akusticheskoi volny v REM / N. N. Dremova, A. I. Erko, D. V. Roshupkin // Zhurn. tehn. fiziki. − 1988. − T. 58, N 9. − S. 1763—1766.
13. Roshchupkin, D. V. Scanning electron microscopy visualization of surface acoustic wave propagation in a LiNbO₃ crystal / D. V. Roshchupkin, M. Brunel // Acustica. − 1995. − V. 81. − P. 173—176.