Журналы →  Materialy Elektronnoi Tekhniki →  2012 →  №4 →  Назад

EPITAXIAL LAYERS AND MULTILAYERED COMPOSITIONS
Название Study of Electrical Properties of Schottky Diodes Fabricated on Silicon with Different Metal Layers
Автор I. G. Pashayev
Информация об авторе

Baku State University, Azerbaijan Republic:

I. G. Pashayev

Реферат

We have investigated the fabrication of AuxTi100−xnSi (where x is 10; 36; 87) and PbxSb100−xnSi (where x = 52; 70; 87) Schottky diodes and the electrical properties of AuxTi100−xnSi (where x = 10; 36; 87) and PbxSb100−xnSi (where x = 52; 70; 87)Schottky diodes. The Au36Ti64, Pb52Sb48 alloy film has an amorphous structure, while the other films are polycrystalline. We have determined Schottky barrier height depending on the composition and structure of the metal films and found that the barrier height is quite sensitive to the composition of the metal alloy. We show that the electrical properties of the AuxTi100−xnS and PbxSb100−xnSi Schottky diodes depend on the composition and structure of the metal films.

Ключевые слова Thermal anneal, amorphous metals, Schottky diodes, alloy film, barrier height
Библиографический список

1. Kung, K. T. Y. Elektrikal charakteristics of amorphorus molyubdenum−nickel contacts to Si / K. T. Y. Kung, I. Suni, M. A. Nikolet // J. Appl. Phys. − 1984. − V. 55, N 10. − P. 3882—3884.
2. Pashaev, I. G. Vliyanie razlichnykh obrabotok na svoystva diodov Shottki / I. G. Pashaev // FTP. − 2012. − T. 46, vyp. 8. − S. 1108—1110.
3. Wickenden, D. K. Amorphous metal−semiconductor contacts for high temperature electronics−II / D. K. Wickenden, M. J. Sisson // Solid state electron. − 1984. − V. 27, N 6. − P. 515—518.
4. Krylov, P. N. Vliyanie termopolevoy ionizatsii na formirovanie bar'era Shotki metall—<amorfnyy kremniy> / P. N. Krylov // FTP. − 2000. − T. 34, vyp. 3. − S. 306—309.

5. Pashaev, I. G. ElektronysikalL properties of schottky diodes made on the basis of silikon wtth amorphous and polycrystaline metal alloy at low direct voltage / I. G. Pashaev // Internat. J. Technical and Physical Problems of Engineering. − 2012. − Iss. 10. − V. 4, N 1. − P. 41—44.
6. Valiev, K. A. Primenenie kontakta metall—polu provodnik v elektronike / K. A. Valiev, Yu. I. Pashintsev, G. V. Petrov − M. : Sovetskoe radio, 1981. − 364 s.
7. Kritskaya, T. V. Vliyanie razlichnykh obrabotok na svoystva kontakta kremniy − amorfnyy metallicheskiy splav / T. V. Kritskaya, I. G. Pashaev, I. A. Abuzerov // VI Mezhdunar. nauchn.−prakt. konf. «Sovremennye problemy i dostizheniya v oblasti radiotekhniki, telekommunikatsiy i informatsionnykh tekhnologiy». − Zaporozh'e, 2012. − S. 332—333.
8. Askerov, Sh. G. Vliyanie tolshiny metallicheskikh plenok na svoystva diodov Shotki / Sh. G. Askerov, I. G. Pashaev, Sh. S. Aslanov, E. G. Shaulova // Elektronnaya tekhnika. Ser.10. Mikroelektronnye ustroystva. − 1986. − Vyp. 1. − S. 74—76.
9. Banderenko, V. B. Estestvennye neodnorodnosti vysoty bar'era Shotki / V. B. Banderenko, Yu. A. Kudinov, S. G. Ershov, V. V. Korablev // FTP. − 1998. − T. 32, № 5. − S. 554—556.
10. Tez. dokl. 1−y i 2−y Vsesoyuz. konf. «Fizicheskie osnovy nadezhnosti i degradatsii poluprovodnikovykh priborov». − Kishinev, 1982. − Ch. 1 i 2. : 1986. − S. 141—165.
11. Askerov, Sh. G. Vliyanie mikrostruktury poverkhnosti metalla na omicheskie svoystva kontakta metall−poluprovodnik / Sh. G. Askerov // PZhTF. − 1977. − T. 3, № 18. − S. 968—970.
12. Torkhov, N. A. Priroda pryamykh i obratnykh tokov nasyshcheniya v kontaktakh metall−poluprovodnik s bar'erom Shotki / N. A. Torkhov // FTP. − 2010. − T. 44, № 6. − S. 767—774.
13. Abdulaev, G. B. Nekotorye voprosy fiziki elektronno−dyrochnykh perekhodov / G. B. Abdulaev, Z. A. Iskenderzade − Baku: Elm, 1971. − S. 114.
14. Sudzuki, K. Amorfnye metally / K. Sudzuki, Kh. Fudzumori, K. Khasimov − M. : Metallurgiya, 1987. − S. 328.
15. Gin'e, A. Rentgenografiya kristallov / A. Gin'e − M., 1963. − S. 600.

Language of full-text русский
Полный текст статьи Получить
Назад