• Acquire
Hide↑
Journals →  Цветные металлы →  2009 →  #2 →  Back

Магний, титан, редкие металлы, полупроводники
ArticleName Об уменьшении влияния тепловой конвекции на качество монокристаллов кремния, выращиваемых методом Чохральского
ArticleAuthor Егоров С. Г., Воляр Р. Н., Червоный И. Ф., Кириченко А. Г.
ArticleAuthorData С. Г. Егоров, доцент, e-mail: egrv@rambler.ru; Р. Н. Воляр, ассистент; И. Ф. Червоный, зав. каф. металлургии цветных металлов; А. Г. Кириченко, ассистент каф. металлургии черных металлов, Запорожская государственная инженерная академия.
Abstract

Изучена принципиальная возможность уменьшения высоты расплава в тигле при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского. При уменьшении высоты расплава в тигле наблюдается качественное и количественное изменение скорости движения потоков. Обеспечивается стационарный режим развития тепловой конвекции.
keywords Метод Чохральского, расплав, тепловая конвекция, стационарный режим, скорость движения потоков.
References

1. Мильвидский М. Г. // Изв. вузов. Материалы электронной техники. 2000. № 1. С. 14–18.
2. Степченков В. Н., Голубенков Б. Ю. // Электронная техника. Сер. Материалы. 1982. Вып. 6. С. 44–47.
3. Степченков В. Н., Голубенков Б. Ю., Добрынин А. В. // Там же. Вып. 7. С. 25–28.
4. Мюллер Г. Выращивание кристаллов из расплава. Конвекция и неоднородности: пер. с англ. — М. : Мир, 1991. — 143 с.
Language of full-text russian
Full content Buy
Back