Журналы →  Материалы электронной техники →  2011 →  №1 →  Назад

МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ. ПОЛУПРОВОДНИКИ
Название Изготовление подложек на основе CdZnTe с использованием полиэдрических метилсилсесквиоксанов
Автор П. А. Аверичкин, Ю. Б. Андрусов, М. Б. Гришечкин, И. А. Денисов, Н. А. Смирнова
Информация об авторе П. А. Аверичкин, Ю. Б. Андрусов, М. Б. Гришечкин, И. А. Денисов, Н. А. Смирнова, ОАО «Гиредмет»
Реферат
Исследовано влияние условий проведения химико-механической полировки (ХМП) на высоту и однородность распределения микрорельефа по площади пластин-подложек CdZnTe. Разработаны режимы двухстадийной ХМП, обеспечивающие значения параметра шероховатости поверхности Rms в интервале от 2 до 8 нм. Показано, что использование предварительной ХМП с добавлением в травильную композицию полиэдрических метилсилсесквиоксанов и финишной ХМП в травителе «бром-бромисто−водородная кислота — глицерин» обеспечивает однородное распределение значения Rms по площади подложек диаметром до 45 мм.
Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ (государственный контракт № 02.513.12.3059).
Ключевые слова Кадмий-цинк-теллур, подложка, химико-механическая полировка, метилсилсесквиоксан.
Библиографический список
1. Шматов, Н. И. Твердые растворы Cd1-yZnyTe - материал для подложек эпитаксиальных структур CdxHg1-xTe / Н. И. Шматов, Н. А. Смирнова, А. Г. Белов, В. А. Оранский, А. А. Шленский // Изв. вузов. Материалы электрон. техники. - 2006. - № 3. - С. 28—32.
2. Moravec, P. Chemical polishing of CdTeZn substrates fabricated from crystals grown by the vertical gradient freezing method / P. Moravec, P. Höschl, J. Franc, E. Belas, R. Fesh, R. Grill, P. Horodyský, P. Praus // J. Electron. Mater. - 2006. - V. 35, N 6. - P. 1206—1213.
3. Yoon, H. Investigation of the effects of polishing and etching on the quality of Cd1-xZnxTe using spatial mapping techniques / H. Yoon, J. M. Van Scyoc, R. B. James // Ibid. - 1997. - V. 26, N 6. - P. 529—533.
4. Tomashik, Z. F. Chemical-mechanical polishing of CdTe and ZnxCd1-xTe single crystals by H2O2(HNO3)-HBr-organic solvent etchant compositions / Z. F. Tomashik, V. M. Tomashik, I. B. Stratiychuk, G. M. Okrepka, I. I. Hnativ, P. Moravec, P. Höschl, J. Bok // Ibid. - 2009. - V. 38, N 8. - P. 1637—1644.
5. Moravec, P. Chemical interaction of CdTe and CdZnTe with aqueous solutions of H2O2-HI-tartaric acid / P. Moravec, V. G. Ivanits’ka, J. Franc, Z. F. Tomashik, V. M. Tomashik, K. Mašek, P. I. Feychuk, L. P. Shcherbak, P. Höschl, R. Grill, J. Walter// Ibid. - 2009. - V. 38, N 8. - P. 1645—1651.
6. Ivanits’ka, V. G. Chemical etching of CdTe in Aqueous solutions of H2O2-HI-citric acid / V. G. Ivanits’ka, P. Moravec, J. Franc, Z. F. Tomashik, , V. M. Tomashik, P. I. Feychuk, L. P. Shcherbak, K. Mašek, P. Höschl// Ibid. - 2007. - V. 36, N 8. - P. 1021—1024.
7. Аверичкин, П. А. Кремнийорганические наносорбенты полиэдрической структуры / П. А. Аверичкин, Л. Н. Герчиков, Б. Н. Левонович, Ю. Н. Пархоменко, А. А. Шленский // Тез. докл. на 11 Междунар. семинаре-ярмарке «Российские технологии для индустрии». - Санкт-Петербург, 2007. - С. 46.
8. Артемов, А. С. Наноалмазы для полирования / А. С. Артемов // Физика твердого тела. - 2004. - Т. 46, вып. 4. - С. 670—678.
9. Артемов, А. С. Химико-механическое полирование - универсальная технология получения совершенной поверхности кристаллов / А. С. Артемов // Тез. докл. на XI Национальной конф. по росту кристаллов. - М. : ИК РАН, 2004. - С. 340.
Language of full-text русский
Полный текст статьи Получить
Назад