Journals →  Материалы электронной техники →  2010 →  #1 →  Back

НАНОМАТЕРИАЛЫ И НАНОТЕХНОЛОГИЯ
ArticleName Структура поверхности нанокомпозитов на основе кремний–углеродной матрицы, выявленная методами сканирующей зондовой микроскопии
ArticleAuthor М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, Д. С. Поляков, М. Л. Шупегин
ArticleAuthorData Ю. Н. Пархоменко, доктор физ.-мат. наук, профессор, зав. кафедрой материаловедения полупроводников и диэлектриков, ФГОУ ВПО «Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС», 119049, г. Москва, Ленинский пр-т, д. 4; директор ОАО «Гиредмет», 119017, г. Москва, Б. Толмачевский пер., д. 5; М. Д. Малинкович, кандидат физ.-мат. наук, доцент, e-mail: malinkovich@yandex.ru, Д. С. Поляков, инженер, М. Л. Шупегин, кандидат техн. наук, доцент, (ФГОУ ВПО «Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС», 119049, г. Москва, Ленинский пр-т, д. 4).
Abstract Методами сканирующей зондовой микроскопии исследована поверхность аморфных пленок с кремний-углеродной матрицей, содержащих частицы платины нанометровых размеров. Показано, что поверхность пленок, изображение которой получено методом атомно-силовой микроскопии, имеет случайные шероховатости со средним размером менее 1 нм, в то время как образ поверхности, полученный с помощью сканирующей туннельной микроскопии, представляет собой плотно расположенные полусферические образования диаметром в несколько десятков нанометров и высотой несколько нанометров. Сделано предположение о том, что частицы платины распределяются упорядоченно в процессе синтеза пленок.
keywords Кремний- углеродная матрица, АСМ- изображение, СТМ-образ, частицы нанометровых размеров.
References 1. Малинкович, М. Д. Технология получения, структура и свойства металлсодержащих нанокомпозитов с кремний- углеродной матрицей / М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, Е. А. Скрылева, М. Л. Шупегин. // Изв. вузов. Материалы электрон. техники. - 2005. - № 3. - С. 12—16.
2. Борун, А. Ф. Электрическая прочность аморфных кремний- углеродных пленок, полученных осаждением из высокочастотной плазмы паров полифенилметилсилоксана, в зависимости от рабочего напряжения осаждения толщины пленок и отжига / А. Ф. Борун, Е. А. Выговская, М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, Е. А. Скрылева, О. В. Торопова, М. Л. Шупегин. // Третья Всерос. конф. «Химия поверхности и нанотехнология» - Хилово, 2006. - С. 90.
3. Бублик, В. Т. Исследование структуры металлсодержащих нанокомпозитов с кремний-углеродной матрицей / В. Т. Бублик, М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, Н. Ю. Табачкова, М. Л. Шупегин // VI Нац. конференция по применению рентгеновского, синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов. - ИК РАН, 2007. - С. 349.
4. Пат. РФ № 2297471. Способ получения проводящих нанокомпозитных покрытий, содержащих металл в кремний- углеродной матрице / М. Л. Шупегин, Ю. Н. Пархоменко, М. Д. Малинкович, Г. Ф. Воробьева, А. П. Смирнов, 2007.
5. Попов, А. И. Анизотропия электропроводности нанокомпозитов с кремний?углеродной матрицей, содержащих нанофазу на основе вольфрама / А. И. Попов, Н. Д. Васильева, Г. Ф. Воробьева, М. Д. Малинкович, Ю. Н. Пархоменко, Н. А. Филипьев, М. Л. Шупегин // Материалы V Междунар. конф. «Аморфные и микрокристаллические полупроводники» - СПб., 2006. - С. 65.
Language of full-text russian
Full content Buy
Back