Journals →  Цветные металлы →  2024 →  #1 →  Back

Редкие металлы, полупроводники
ArticleName Реактор каталитического гидрирования тетрахлорида кремния
DOI 10.17580/tsm.2024.01.05
ArticleAuthor Иванов В. М.
ArticleAuthorData

ООО «Германий и приложения», Новомосковск, Тульская обл., Россия

В. М. Иванов, мастер, эл. почта: v.m.ivanov@rambler.ru

Abstract

Процесс гидрирования тетрахлорида кремния в производстве поликристаллического кремния по-прежнему актуален, при этом способ каталитического гидрирования тетрахлорида кремния до трихлорсилана является перспективным для использования в промышленном производстве поликремния. Представлены ранее проведенные работы по различным аспектам данной проблемы. Осуществленные работы проводили в рамках лабораторных изысканий. Поставлена задача разработать промышленный конвертер для осуществления этого процесса. Представлен гранулометрический состав измельченного кремния, который используется в процессе гидрирования. Приведены уравнения химических реакций, протекающих во время этого процесса. Процесс гидрирования проводили при температуре 600 oC и давлении 1,1 МПа. На основе критериальных уравнений выполнен расчет кинетических характеристик псевдоожиженного слоя измельченного кремния. Рабочая скорость парогазовой смеси в реакционной части конвертера определена в размере 0,12 м/с. Полученные характеристики использованы при расчете конструктивных параметров конвертера для производительности предприятия 1000 т/год поликремния. Реакционная зона промышленного конвертера имеет внутренний диаметр 1,5 м и высоту 10 м. Представлено схематичное изображение конвертера, описаны конструктивные особенности конвертера с цилиндрической царгой. Сепаратор предназначен для осаждения унесенных из взвешенного слоя частиц. В распределителе газа круговое расположение отверстий способствует формированию псевдоожиженного слоя. В конструкции конвертера целесообразно предусмотреть жалюзийные перегородки, улучшающие характеристики псевдоожиженного слоя. В качестве конструкционного материала предложен сплав Incoloy 800НТ. Расчет и предложенная конструкция конвертера могут быть использованы при проектировании оборудования для строящихся и модернизируемых производств поликристаллического кремния. .
DOI: 

keywords Поликристаллический кремний, тетрахлорид кремния, трихлорсилан, реакция гидрирования, измельченный кремний, псевдоожиженный слой, критериальные уравнения, конвертер
References

1. Критская Т. В., Шварцман Л. Я. Новая промышленная технология получения поликристаллического кремния «Кремний из песка» / Тезисы докладов XII Международной конференции «Кремний-2018». — Черноголовка, 2018. С. 8.
2. Иванов В. М. Хлорирование в солевом расплаве в технологии производства поликристаллического кремния // Электроника НТБ. 2019. № 6. С. 154–160. DOI: 10.22184/1992-4178.2019.187.6.154.160
3. Иванов В. М., Трубицин Ю. В. Применение способов гидрирования тетрахлорида кремния в технологии производства поликремния // Материалы электронной техники. 2010. № 4. С. 10–13.

4. Lehnen R. J. Untersuchengen zur katalysierten hydrochlorierung vom metallurgischen silizium mit siliziumtetrachlorid und wasserstoff in einem laborfestbettreaktor : dis. … zur erlangung des grades Dr. rer. nat. — Ruhr-Universität Bochum, 2002. — 159 s.
5. Иванов В. М., Трубицын Ю. В. Поисковые лабораторные исследования катализаторов для гидрирования тетра хлорида кремния // Сборник тезисов Украинской научной конференции по физике полупроводников «УНКФН-5». Ужгород, 9–15 октября 2011 г. — Ужгород, 2011. С. 419.
6. Becker F. Modellierungen und simulationen der hydrochlorierung von silizium zu trichlorsilan für die entwicklung eines technischen wirbelschichtreaktors : dis. … zur Erlangung des Grades Dr.-Ing. — Rheinisch-Westfälischen Technischen Hochschule, 2005. — 143 s.
7. Аркадьев А. А. Разработка способов синтеза трихлорсилана при повышенном давлении : дис. … канд. техн. наук. — М., 2005. — 139 с.
8. Воротынцев А. В. Каталитическое восстановление хлоридов кремния : дис. … канд. хим. наук. — Н. Новгород, 2013. — 121 с.
9. Аркадьев А. А., Кох А. А., Чапыгин А. М., Новиков А. В., Шварев К. П. Определение удельной скорости низкотемпературного гетерогенного гидрирования тетрахлорида кремния // Цветные металлы. 2010. № 9. С. 56–58.
10. Fluidized bed reactors: principles and applications. Kristian Beike editor. — NY : Nova Science Publication, Inc., 2020. — 117 p.
11. Фалькевич Э. С., Пульнер Э. О., Червонный И. Ф. и др. Технология полупроводникового кремния. — М. : Металлургия, 1992. — 407 с.
12. Зверев С. В., Нагорный С. Л., Трубицын Ю. В. Технологические аспекты реализации процесса высокотемпературного гидрирования тетрахлорида кремния // Сложные системы и процессы. 2003. № 1. С. 81–91.
13. Павлов К. Ф., Романков П. Г., Носков А. А. Примеры и задачи по курсу процессов и аппаратов химической технологии. — Л. : Химия, 1987. — 575 с.
14. Shanlin Du, Guoqiang Lv, Wenhui Ma, Guangkai Gu, Boqiang Fu. Optimal design of gas distributor in fluidized bed for synthesis of silicone monomer // Particuology. 2023. Vol. 83. P. 115–128. DOI: 10.1016/j.partic.2023.02.015
15. Ning Liu, Xingping Liu, Fumin Wang et al. CFD simulation study of the effect of baffles on the fluidized bed for hydrogenation of silicon tetrachloride // Chinese Journal of Chemical Engineering. 2022. Vol. 45. P. 219–228. DOI: 10.1016/j.cjche.2021.04.003

Language of full-text russian
Full content Buy
Back