Журналы →  Цветные металлы →  2014 →  №3 →  Назад

Магний, титан, редкие металлы, полупроводники
Название Производство белой сажи из отходов производства полупроводникового кремния
Автор Кожемякин В. А., Почтарёв А. Н., Чапыгин А. М.
Информация об авторе

ООО ЗПК «Кристалл» НТЦ «Кремний», г. Елабуга, Россия:

В. А. Кожемякин, вед. науч. сотр., эл. почта: Kozhemyakin_va@mostovik.ru

А. М. Чапыгин, вед. науч. сотр.

 

ОАО «Гиредмет», г. Москва, Россия:

А. Н. Почтарёв, зав. лаб.

Реферат

Представлены результаты лабораторных исследований абсорбции тетрахлорида кремния раствором кальцинированной соды. Процесс абсорбции имитирует обезвреживание отходящих газов (абгазов) производства трихлорсилана и поликристаллического кремния. Смесь паров тетрахлорсилана и технического аргона подают в барботер с раствором кальцинированной соды. Парциальное давление тетрахлорида кремния в парогазовой смеси 20–50,7 кПа. Начальная концентрация Na2CO3 в барботере 15,2–16,2 %. Процесс поглощения тетрахлорида кремния раствором соды заканчивают при рН = 7. Полученную суспензию разделяют фильтрацией на рассол с содержанием ~20 % NaCl и гидратировнный осадок диоксида кремния [Si(OH)4nH2O. В осадке содержится от 73,5 до 84,5 % Н2О. Осадок отфильтровывают под вакуумом от маточного раствора — рассола хлорида натрия. Скорость фильтрации маточника составляет 0,56–1,5 м3/(м2·ч). Для удаления растворимых солей (NaCl, NaHCO3) осадок промывают дистиллированной водой. Скорость фильтрации промывной воды равна 0,27–0,55 м3/(м2·ч). Высушенный при 100–105 оС осадок диоксида кремния по физико-химическим свойствам соответствует товарному продукту белая сажа марок БС-100 и БС-120. Полученный из отходов газоочистки хлорид натрия (твердая соль или рассол) пригоден в качестве исходного сырья для электролитического получения хлора и возврата его в рецикл на синтез хлористого водорода и производство трихлорсилана и поликристаллического кремния.

Ключевые слова Абсорбция, хлорсиланы, сода кальцинированная, утилизация, диоксид кремния, сажа белая, хлорид натрия, рецикл
Библиографический список

1. Станишевский М. Россия становится важным игроком мирового рынка солнечной энергетики // The Chemical Journal. 2008. Сентябрь. С. 22–28.
2. Бочкарёв Э. П., Зубченко Г. В., Кожемякин В. А. Утилизация тонкодисперсных отходов при защите вод от загрязнения // Экология и промышленность России. 1996. Декабрь. С. 15–17.
3. Почтарёв А. Н., Кожемякин В. А., Антипова Н. В. Утилизация кремнезема в производстве полупроводникового кремния // Цветные металлы. 2012. № 7. С. 53–56.
4. ГОСТ 18307–78. Сажа белая. Технические условия. — Введ. 01-01-1979.
5. Ахметов Т. Г. Химическая технология неорганических веществ. — М. : Химия, 1998.
6. ГОСТ 83–79. Реактивы. Натрий углекислый. Технические условия. — Введ. 01-01-1980.
7. Лапидус И. И., Нисельсон Л. А. Тетрахлорсилан и трихлорсилан. — М. : Химия, 1970. —128 с.
8. Лурье Ю. Ю. Унифицированные методы анализа вод. — М. : Химия, 1971. — 375 с.
9. Белая сажа: свойства и технические характеристики // Аналитический портал химической промышленности [Электронный ресурс]. — Режим доступа : http://newchemistry.ru/letter.php?n_id=5687&cat_id=&sword=%E1%E5%EB%E0%FF%20%F1%E0%E6%E0.

Language of full-text русский
Полный текст статьи Получить
Назад